Титановая напыляемая мишень - это вид титанового изделия с тонкой пленкой напыляемого покрытия. Чистота является ключевым моментом для характеристик титанового напыления, чем выше чистота, тем лучше коррозионная стойкость, электрические и оптические свойства титановой напыленной пленки. Титановые мишени находят широкое применение в полупроводниковых приборах (осажденная пленка окисляется до TiO2 в качестве рассеивателя луча или изолятора), архитектурном стекле, фотоэлектрических и солнечных батареях, декорировании, оптике, при нанесении PVD-покрытий. Компания "Энергия Титана" предлагает литые или кованые титановые мишени, изготовленные из титанового прутка или листа и прошедшие обработку на станке с ЧПУ, которые помогают повысить функциональность в широком спектре применений покрытий. Наши мишени производятся из титана высокой чистоты с тонкой и однородной структурой, что обеспечивает низкий размер частиц в течение всего срока службы.
Технические характеристики титановых мишеней
Имеющиеся стандарты | ASTM B385-91, ASTM B381
ASTM F67, ASTM F136 ISO 5832/2 JIS H4650 DIN 17851 |
Классы | Класс 1, класс 2, класс 5 |
Форма | Диски, прямоугольник, трубка (вращающаяся мишень), пластина |
Размер | Круглая мишень: 40*17, 63*32, 62*38, 100*32, 100*40, 100*45, 152,4*42
Цель плиты: 8*133*140, 8*153*1108, 10*53,6*585, 10*159*1519; Трубка целевая: 141**125*1550, 89,4*8*1960, 152*125*966. 152*125*1566, 70*56*1050, 70*56*2100; |
Поверхность | Очистка от окалины, пескоструйная обработка, шлифовка, грубая обточка, точная обточка, полировка |
Состояние поставки | Горячий прокат, холодная обработка, отжиг, закалка |
Области применения титановых мишеней
В связи с бурным развитием полупроводниковой, электронно-информационной и других высокотехнологичных областей возрастает потребность в титане высокой чистоты в материалах мишеней. Титановые мишени, изготовленные по технологии напыления покрытий, обладают более высокой чистотой и меньшим возможным средним размером зерна для использования в полупроводниках, электронной информации, дисплеях с физическим осаждением из паровой фазы (PVD), химическом осаждении из паровой фазы (CVD) и оптических приложениях.
Сектор полупроводниковых приложений:
- Плоский дисплей
- Интегральные микросхемы
Компания Energy-Ti специализируется на производстве высокочистых титановых мишеней для напыления в полупроводниковой и электронной информационной промышленности в форме пластин, дисков и трубок. Если Вас заинтересовала титановая продукция, Вы также можете связаться с нами по адресу [email protected] или непосредственно отправить нам запрос.