La cible de pulvérisation de titane est une sorte de produit en titane doté d'une fine couche de pulvérisation. Plus la pureté est élevée, meilleures sont la résistance à la corrosion et les propriétés électriques et optiques du film de titane pulvérisé. Les cibles de titane ont une large application pour les dispositifs semi-conducteurs (film déposé oxydé en TiO2 comme séparateur de faisceau ou isolant), le verre d'architecture, le PV/Solaire, la décoration, l'optique, les applications de revêtement PVD. Chez energy titanium, nous fournissons des cibles de titane coulées ou forgées, fabriquées à partir de barres ou de plaques de titane et enfin de machines CNC, permettant d'augmenter la fonctionnalité dans une large gamme d'applications de revêtement. Nos cibles sont produites à partir de titane de haute pureté avec une structure fine et uniforme, ce qui se traduit par une faible taille de particules tout au long de sa durée de vie.
Spécification des cibles en titane
Normes disponibles | ASTM B385-91, ASTM B381
ASTM F67, ASTM F136 ISO 5832/2 JIS H4650 DIN 17851 |
Notes | Grade 1, grade 2, grade 5 |
Forme | Disques, Rectangle, Tube (cible rotative), Plaque |
Taille | Cible ronde : 40*17, 63*32, 62*38, 100*32, 100*40, 100*45, 152.4*42
Plaque cible : 8*133*140, 8*153*1108, 10*53.6*585, 10*159*1519 ; Tube cible : 141**125*1550, 89.4*8*1960, 152*125*966. 152*125*1566, 70*56*1050, 70*56*2100 ; |
Surface | Décalaminés, sablés, rectifiés, tournés bruts, tournés de précision, polis |
Conditions de livraison | Laminage à chaud, déformation à froid, recuit, trempe |
Applications des cibles en titane
Avec le développement rapide des semi-conducteurs, de l'information électronique et d'autres domaines de haute technologie, la quantité de titane de haute pureté dans les matériaux cibles augmente. Les cibles de titane fabriquées par les technologies de revêtement par pulvérisation cathodique ont une pureté plus élevée et une taille moyenne de grain plus petite pour une utilisation dans les semi-conducteurs, l'information électronique, l'affichage par dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et les applications optiques.
Secteur des applications des semi-conducteurs :
- Écran plat
- Circuits intégrés
Energy-Ti est spécialisée dans la production de cibles de pulvérisation en titane de haute pureté pour l'industrie des semi-conducteurs et de l'information électronique, sous forme de plaques, de disques et de tubes. Si vous êtes intéressé par les produits en titane, vous pouvez également nous contacter via [email protected] ou envoyez-nous directement une demande de renseignements.